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太阳能电池片科普系列——(镀膜)PECVD篇

详细介绍

  PECVD( Plasma  Enhanced  Chemical Vapor  Deposition)等离子增强化学气相沉积,等离子体是物质分子热运动加剧,相互间的碰撞会导致气体分子产生电离,物质就会变成自由运动并由相互作用的正离子、电子和中性粒子组成的混合物。

  据测算,光在硅表面的反射损失率高达35%左右,减反膜可以极高地提高电池片对太阳光的利用率,有助于提高光生电流密度,进而提高转换效率,同时薄膜中的氢对于电池片表面的钝化降低了发射结的表面复合速率,减小了暗电流,提升了开路电压,提高了光电转换效率;在烧穿工艺中的高温瞬时退火断裂了一些Si-H、N-H键,游离出来的H逐步加强了对电池的钝化。

  由于光伏级硅材料中不可避免的含有大量的杂质和缺陷,导致硅中少子寿命及扩散长度降低,因此导致电池的转换效率下降,H能与硅中的缺陷或杂质进行反应,从而将禁带中的能带转入价带或者导带。

  PECVD  系统是一组利用平行板镀膜舟和高频等离子激发器的系列发生器。在低压和升温的情况下,等离子发生器直接装在镀膜板中间发生反应。所用的活性气体为硅烷SiH4和氨NH3。这些气体作用于存储在硅片上的氮化硅。能够准确的通过改变硅烷对氨气的比率,来得到不同的折射指数。在沉积工艺中,伴有大量的氢原子和氢离子的产生,使得晶片的氢钝化性十分良好。

  在线摄氏度的环境和温度下,通过对石墨舟的导电,使硅片的表面镀上一层SixNy。

  Si3N4膜的颜色随着它的厚度的变化而变化,一般理想的厚度是7580nm之间,表现为深蓝色,Si3N4膜的折射率在2.02.5之间效果最好,通常用酒精来测其折射率。

  优良的表面钝化效果、高效的光学减反射性能(厚度折射率匹配)、低温工艺(大大降低成本)、生成的H离子对硅片表面钝化.

  膜厚。沉积时间的不同膜厚也是不一样的要根据镀膜的颜色来适当的增加或减少它的沉积时间,片子发白要减少沉积时间,如偏红则要适当的增加。每一舟片子要全面的确认,不允许把不良品流入到下道工序,如色斑、水印镀膜不良,应及时挑出

  产线最常见的表面发白、色差、白点,其中表面发白主要由于氮化硅膜较厚导致,可通过调节膜沉积时间来调整;色差片主要由于气路堵塞、石英管漏气、微波故障等导致;白斑主要由于前道小黑点导致。

  PECVD是太阳能电池片中较为重要的工序,也是体现一个企业太阳能电池片效率的一个重要指标,PECVD工序一般较忙,每一批电池片都需要监测,且镀膜炉管较多,每一管一般几百片(视设备而定),更改工艺参数后,验证周期较长。镀膜技术是整个光伏行业比较重视的技术,太阳能电池的效率提升能够最终靠镀膜技术的提升来实现,太阳能电池领域的科学家们也乐此不疲,未来太阳能电池表面技术或许有可能成为太阳能电池理论效率的突破口。

  连载文章欢迎查看更加多太阳能电池片科普系列:发电原理篇流程(电池片)篇工艺流程(硅片)篇制绒篇扩散篇刻蚀篇(镀膜)PECVD篇丝网印刷篇烧结篇组件封装篇多晶硅铸锭篇

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  12月15日,爱康科技发布公告,全资孙公司赣州爱康光电科技有限公司拟投建4.6GWHJT电池项目,计划固定资产总投资21亿元(除主设备外,土地、土建及机电设施等固定资产投资已全部完成),计划于2024年1月完成第一条HJT电池产线主设备进场。爱康科技通过苏州、赣州、湖州、舟山四个太阳能电池组件生产基地

  12月12日下午,甘肃省副省长赵金云一行莅临正泰新能酒泉基地年新增2GW高效晶硅电池项目,就产品质量控制、知识产权、生产经营、员工关怀等情况进一步探索。正泰新能酒泉基地负责人任伟等热情接待。赵金云一行参观正泰新能酒泉基地赵金云一行深入正泰新能酒泉基地电池C1车间,了解电池车间内生产设备、生

  据海关广东分署最新发布,今年前11个月,广东外贸进出口总值7.52万亿元,同比下降0.3%。其中,出口4.94万亿元,增长2%;进口2.58万亿元,下降4.4%。前11个月,广东一般贸易、保税物流进出口增长,比重提升——进出口额分别为4.32万亿元和1.32万亿元,增长4.4%和8.1%,占广东进出口总值的比重提升2.6个

  今年以来,在市委、市政府的正确领导下,全市上下深入学习贯彻习对江苏工作重要讲话精神,按照省委、省政府工作部署,锚定目标、加压奋进,推动经济运行持续恢复。10月份,全市经济延续稳定恢复势头,工业生产加快、市场消费提速、企业信心改善、经济活力增强,经济运行整体向上向好。一、工

  从通威集团官微获悉,11月30日,通威太阳能光伏产业项目签约暨全世界创新研发中心项目开工仪式在通威太阳能双流基地隆重举行。据悉,该项目规划在成都高新综合保税区双流园区总投资105亿元,建设年产25GW太阳能电池与20GW光伏组件项目。其中,电池片项目将建设年产25GW电池片生产线年上半年建

  英发德耀年产5GW太阳能电池生产线日,四川省发展和改革委员会关于年产5GW高效晶体硅太阳能电池智能化生产线建设项目节能报告的审查意见。宜宾英发德耀科技有限公司:你单位《关于报送年产5GW高效晶体硅太阳能电池智能化生产线建设项目节能报告的请示》收悉,我委委托四川省工程咨询研究院对项目节能报告进行了评审,评审机构出具

  据上海海关统计,今年前10个月,上海市进出口总值3.51万亿元人民币,较2022年同期(下同)增长1.9%。其中,出口1.44万亿元,增长2.3%;进口2.07万亿元,增长1.6%;贸易逆差6278.6亿元,收窄0.1%。其中,前10个月,上海市锂电池、太阳能电池出口分别增长63.3%、13.7%。同期,农产品出口169.2亿元,增长1

  11月19日,晶澳科技石家庄基地隆重举行10GW切片及10GW电池项目投产仪式。晶澳科技董事长靳保芳及部分高管,石家庄市委副书记、市长马宇骏及市区有关领导,战略客户和金融机构负责人出席仪式。石家庄市委副书记、市长马宇骏宣布项目投产靳保芳董事长致辞靳保芳董事长在致辞中表示,石家庄项目是晶澳在河

  四川兴文县力争到2027年引进光伏配套企业20家以上 产值突破260亿元

  从宜宾发布官微获悉,连日来,四川泰川年产7GW太阳能电池片项目生产车间内,机器正满负荷运转,全力以赴赶制订单。该经开区的另一光伏产业项目——宜宾智慧电谷年产20万只石英坩埚项目,目前已完成第一批成品坩埚出炉,实现了项目从开工到逐步投产。预计今年底该项目能够达到6条坩埚生产线,力争到明年

  福莱蒽特研究院&华能清能院!就HJT、钙钛矿等新型光伏技术签署合作协议

  从福莱蒽特未来技术研究院官微获悉,11月27日,杭州福莱蒽特未来技术研究院有限公司(简称“福莱蒽特研究院”)与中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司(简称“华能清能院”)签署合作协议。协议主要围绕福莱蒽特研究院与华能清能院在HJT、钙钛矿等新型光伏技术领域的合作,包括新型封装技术的权威

  在n型迭代浪潮中,TOPCon先行,今年已有密集项目落地,预计明年规模更为庞大,另一方面BC技术因其高效率、平台化等优势,闯入n型战局。作为n型技术的另一条代表路线,异质结怎么样应对两者的夹击,企业又将如何坚定信心,推动异质结产能、效率、降本等方面实现新突破?产能落地缓、市场需求起与密集投产

  10月23日,云南国际中标广西华磊新材料有限公司分布式光伏特许经营项目。项目位于广西平果市,规划建设分布式光伏16.5兆瓦,同步融入分布式光伏直流接入电解铝母排4兆瓦及新能源汽车充电桩。项目投运后,预计每年可为广西华磊公司提供绿电1597万千瓦时,节约标准煤约638吨,减少二氧化碳排放量15922吨

  据彭博新能源财经(BNEF)最新发布的《BangladeshPowerSectorattheCrossroads》报告中指出,由于光伏技术成本的不断降低,太阳能将在2025年成为孟加拉国最便宜的能源;到2030年,带有储能电池的太阳能系统(PVS)的平准化电力成本(LCOE)将比新建火力发电厂更便宜。目前,孟加拉国建设公用事业规模太阳能

  自2022年以来,光伏电池技术进入由p向n迭代大潮,TOPCon、HJT、XBC三大技术均有拥趸者。而近期,n型技术路线之争,正因隆基而变得更激烈。9月5日,隆基绿能举行半年报业绩说明会,董事长钟宝申在会上表示,在接下来的5~6年,BC电池会是晶硅电池的绝对主流,未来隆基绿能很多产品都会走向BC技术路线。

  BC技术,无疑是当下光伏行业非常关注的技术路线。当光伏有突出贡献的公司隆基绿能董事长钟宝申提出,未来5-6年,BC类电池将成为晶硅电池的绝对主流,其大量产品都会走向BC路线。此言论一出,市场开始重新审视起BC技术。BC技术的发展历史最早可追溯至48年前。1975年,Schwartz和Lammert首次提出背接触式光伏电池

  光伏行业突发热闹。近日,隆基宣布BC电池将成为晶硅电池的绝对主流,态度明确,大家对BC电池的关注再掀高潮。这次小高潮,更像是当前光伏产业周期与宏观资本周期跌宕共振的一次宣泄,光伏行业近年来占主导的价值观正在受到挑战,从过去几年的“功利主义”向未来一段时间的“精致主义”转变。我们在2023

  9月5日,颓废已久的光伏概念股迎来大涨,截至收盘,爱旭股份、帝尔激光、广信材料、英诺激光等纷纷涨停,与此同时,赛伍技术、中来股份、隆基股份等纷纷跟涨。而这些股票爆发的助燃剂归结为“BC电池”。今日,在隆基绿能2023年半年度业绩说明会上,公司董事长钟宝申表示,前期隆基未明确未来的技术路线

  【文末看全文】东方日升异质结伏曦产品白皮书之低银含金属化浆料的开发和产业化应用

  随着国际能源形式的发展,发展以光伏为代表的可再次生产的能源已成为全世界共识,同时,光伏也是我国实现“双碳目标”的重要手段。而怎么样发展好光伏呢?以先进的技术引领的“降本增效”是必由之路。随着时下人们对更高功率、更高效率、更高发电量、更高可靠性以及更低BOS、更低LCOE、更低碳排放产品的渴求,研究与开发

  12月15日,国家能源局发布11月份全社会用电量等数据。11月份,全社会用电量7630亿千瓦时,同比增长11.6%。分产业看,第一产业用电量96亿千瓦时,同比增长12.2%;第二产业用电量5277亿千瓦时,同比增长9.8%;第三产业用电量1321亿千瓦时,同比增长20.9%;城镇和乡村居民生活用电量936亿千瓦时,同比增长10.0%

  12月14日,江西省可再次生产的能源信息中心公布开发区三年行动计划、整县开发试点及全省其他屋顶光伏项目2023年11月竞争性优选结果。本次共涉及25个光伏项目,总装机规模92.98MW。根据《江西省整体推进开发区屋顶光伏建设三年行动计划(2022-2024年)》(赣发改能源〔2022〕27号)与《江西省能源局关于进一步

  推动完善光伏发电等价格形成机制!山西推进能源电子产业高质量发展的实施建议发布

  12月12日,山西省工业和信息化厅山西省教育厅山西省科学技术厅中国人民银行山西省分行国家金融监督管理总局山西监管局山西省能源局关于推进能源电子产业高质量发展的实施建议,文件指出,做大光伏制造产业,围绕“多晶硅-硅片-电池-组件-辅材-设备”光伏制造产业链条,加强上下游企业的培育和招引,突破TOPCo

  12月13日,新能源云平台公布2023年第九批可再次生产的能源发电补贴项目清单的报告,此次纳入2023年第九批可再次生产的能源发电补贴清单的项目共147个,核准/备案容量1452.5兆瓦,其中:集中式发电项目41个、核准/备案容量1388.7兆瓦,分布式发电项目106个、核准/备案容量63.8兆瓦。此次变更可再次生产的能源发电补贴清单

  12月11日,云南省能源局关于开展第四批能源领域首台(套)重大技术装备申报工作的通知,根据《国家能源局综合司关于组织并且开展第四批能源领域首台(套)重大技术装备申报工作的通知》(简称《通知》),请有申报意向的单位对照《通知》有关要求于2023年12月29日前将申报意向告知我局(反馈非正式的拟申报项目

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