ASM请求用于反应器体系的激光器对准夹具专利可答应将薄膜均匀沉积到衬底上

  国家知识产权局信息数据显现，ASM IP私家控股有限公司请求一项名为“用于反应器体系的激光器对准夹具”的专利，公开号CN 121046801 A，请求日期为2021年5月。专利摘要显现，一种用于反应器体系的激光器对准夹具，能够适用于对准反应器体系的部件以答应将薄膜均匀沉积到衬底上。激光器对准夹具能够包含：盖组件；以及多个激光器和传感器组件。激光器对准夹具能够对准至少：活动操控环、基座，以及反应器体系的侧壁。

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